tel: (32) 431 28 28 info@zpph.com

Kochanowskiego 37 44-230Czerwionka

Witaj na naszej stronie !

Firma nasza powstała w roku 1993 , początkowo pod nazwą Zakład Projektowo – Produkcyjno - Handlowy, a od roku 2002 pod obecna nazwą. W pierwszych latach swej działalności zajmowaliśmy się projektowaniem instalacji separacji mieszanin ciekłych

Spektrometry RGA

Służą do analizy gazów w komorach próżniowych i są głównymi elementami analizatorów gazów. Produkowane są w kilku wersjach, w zależności od zakresu mas (od 1-20 j.m.a. do 1 – 2500 j.m.a.). Ponadto, dla wersji mas od 300 j.m.a. mogą to być kwadrupole (filtry masowe) pojedyncze lub potrójne (z niższym progiem detekcji i większą dokładnością). Mogą to być także albo spektrometry analogowe albo cyfrowe (z licznikiem jonów jako detektorem), które służą jako jednostki podstawowe bardziej skomplikowanych systemów oferowanych przez firmę (takich jak EQP, HPR-60, SIMS, IDP, itp.).

 Pełna kontrola programowa wszystkich parametrów pracy, takich jak potencjał klatki Faradaya, napięcie jonizacji (0 – 150 eV), napięcie przyśpieszające w powielaczu, natężenie prądu żarzenia, itp.). Posiada wejścia i wyjścia analogowe oraz cyfrowe do pełnej kontroli procesów w komorach technologicznych oraz do dołączania innych zmiennych procesowych do danych spektrometru (np. temperatury, cisnienia, itp.).

 

POBIERZ: Hiden 3F Triple Filter Mass Spectrometers for precision gas analysis and scientific applications
 
POBIERZ: Hiden QIC Series Gas Analysers Real-time gas analysis systems
 
POBIERZ: Hiden XBS Monitor for the Molecular Beam Epitaxy Process


Nazwa właściwości Wartość
Zakresy mas od 1-20 do 1-2 500 j.m.a.
Zakres ciśnień 1E-04 mbar do 5E-15 mbar
Zakres zmian ciśnień cząstkowych dla spektrometrów licznikowych 12 dekad
Próg detekcji 5E-15 mbar
Wszelkie prawa zastrzeżone przez ZPPH
Projekt i wykonanie www.webdesignart.pl